Vaakumaurustamine, mida nimetatakse aurustamiseks, viitab kattematerjali (või kilematerjali) aurustamise ja aurustamise protsessile, kasutades vaakumi tingimustes teatud kuumutamis- ja aurustamismeetodit ning osakesed lendavad aluspinna pinnale kondenseeruma ja moodustada kile. Aurutamine on varasem ja laialdaselt kasutatav aurustamise-sadestamise tehnoloogia, mille eeliseks on lihtne kile moodustamise meetod, kõrge kile puhtus ja kompaktsus ning ainulaadne kile struktuur ja jõudlus. Vaakumpaurumisel kasutatavaid materjale nimetatakse aurustusmaterjalideks.
Sadestusmaterjal aurustatakse või sublimeeritakse gaasilisteks osakesteks → gaasilised osakesed transporditakse kiiresti aurustumisallikast substraadi pinnale → gaasilised osakesed kinnituvad substraadi pinnale tuumaks ja kasvavad tahkeks kileks → toimub kile aatomirekonstrueerimine või keemiline side.
Asetage substraat vaakumkambrisse, kuumutage kilematerjali takistuse, elektronkiire, laseri jne abil, et kilematerjal aurustuda või sublimeerida, ja gaasistada see teatud energiaga osakesteks (aatomiteks, molekulideks või aatomirühmadeks) ( 0.1-0.3 eV).
Gaasilised osakesed transporditakse kiiresti substraadile lineaarsel liikumisel ilma kokkupõrketa. Osa substraadi pinnale jõudvatest osakestest peegeldub ja teine osa adsorbeerub substraadile ja hajub pinnale. Kahemõõtmelised kokkupõrked tekivad ladestunud aatomite vahel, moodustades klastreid. Enne aurustumist võib see pinnale jääda lühikest aega.
Osakeste klastrid põrkuvad pidevalt hajuvate osakestega või neelavad üksikuid osakesi või eraldavad üksikuid osakesi.
Seda protsessi korratakse. Kui agregeeritud osakeste arv ületab teatud kriitilise väärtuse, muutub see stabiilseks tuumaks ning jätkab seejärel osakeste absorbeerimist ja hajumist, et järk-järgult kasvada. Lõpuks moodustub külgnevate stabiilsete tuumade kokkupuutel ja ühinemisel pidev kile.
Aurustumise takistuse põhimõte: materjale, mille aurustumistemperatuur on 1000-2000 ° C, saab kuumutada aurustumisallikana takistuse abil. Kütteseade tekitab soojust pärast takistuse pingestamist ja tekkiv soojus muudab aurustumismaterjali molekulid või aatomid aurustumiseks piisavalt kineetilist energiat.
1. Aurustumisallikas on üldiselt niitjas (0.05–0.13 cm), kergesti kasutatav, odavad tarbekaubad ja hõlpsasti vahetatav.
2. Aurustuv materjal peab küttetraadi märjaks tegema ja seda peab toetama pindpinevus. Aurustada saab ainult metalli või sulamit ning küttetraat muutub kergesti hapraks.
3. Tavaliselt kasutatavad aurustamise lähtematerjalid on: W, Mo, Ta, kõrge temperatuurikindel metalloksiid, keraamiline või grafiittiigel.
Elektrilise üüriaurutuse miinused: tugimaterjali ja aurusti vahel võib tekkida reaktsioon; üldine töötemperatuur on 1500–1900 ℃, kõrgemat aurustumistemperatuuri on raske saavutada, seega on aurustuvad materjalid piiratud; aurustumiskiirus on madal; kuumutuskiirus ei ole suur, Kui aurustamise käigus aurustatav materjal on sulam või ühend, võib see laguneda või omada erinevat aurustumiskiirust, mistõttu kile koostis erineb aurustunud materjali koostisest. Kõrgel temperatuuril moodustavad tantaal ja kuld sulameid, alumiinium, raud, nikkel, koobalt jne koos volframi, molübdeeni, tantaaliga jne ning volfram, molübdeen reageerib vee või hapnikuga, moodustades lenduvaid oksiidgaase.
Elektronkiirt kiirendatakse pärast 5-10KV elektrivälja läbimist ja seejärel fokusseeritakse aurustatava materjali pinnale ning energia kantakse üle aurustatavale materjalile, et see sulaks ja aurustuks.
1. Tulekindlate ainete aurustamist saab realiseerida ja kiiret aurustumist saab realiseerida suure võimsustihedusega, et vältida sulamite eraldumist.
2. Korraga saab asetada mitu tiiglit ja korraga või eraldi aurustada erinevaid aineid;
3. Saastevaba. Enamik elektronkiire aurustussüsteeme kasutab magnetilise fokuseerimise või magnetilise painutamise elektronkiire. Aurustunud materjal asetatakse vesijahutusega tiiglisse ning tiigliga kokkupuutuv aurustatav materjal (vesijahutusega tiigel) jääb tahkeks ja aurustub materjali pinnal.
Inhibeerib tõhusalt tiigli ja aurustusmaterjali vahelist reaktsiooni, aurustusmaterjali ja tiigli vahelise reaktsiooni võimalus on väga väike, sobib kõrge puhtusastmega õhukeste kilede valmistamiseks ja võib valmistada õhukesi kilematerjale optika valdkonnas. , elektroonika ja optoelektroonika, nagu Mo, Ta, Nb, MgF2, Ga2Te3, TiO2, Al2O3, SnO2, Si jne; aurustatud molekulaarne kineetiline energia on suurem ning saab saada tugevama ja tihedama kile kui takistuskuumutamine.
Elektronkiire aurustamise puudused: see võib ioniseerida aurustunud gaasi ja jääkgaasi, mis mõnikord mõjutab kilekihi kvaliteeti; elektronkiire aurustusseadme struktuur on keeruline ja kallis; tekitatud röntgenikiirgusel on inimkehale teatud kahju.
Laseri aurustamise põhimõte: laserit kasutatakse soojusallikana ja suure energiaga laserkiir läbib vaakumkambri akna, et kuumutada aurustunud materjal sublimatsioonipunkti, muuta see gaasiks ja sadestada film.
1. kasutage kontaktivaba kuumutamist, vähendage reostust, lihtsustage vaakumkambrit, sobib puhaste kilede valmistamiseks ultravaakumis;
2. Soojusallikas on puhas, ilma küttekeha reostuseta;
3. Fokuseerimine võib saada suure võimsuse ja sadestada kõrge sulamistemperatuuriga materjale, nagu keraamika ja keeruka koostisega materjalid (hetkeline aurustamine);
4. Kiir on kontsentreeritud, laserseadet saab paigutada kaugele ja mõned spetsiaalsed materjalid (nt väga radioaktiivsed materjalid) on ohutult sadestatud;
5. Kõrge aurustumiskiirus, kile on kõrge adhesiooniga.
Laseri aurustamise miinused: kile paksust on raske kontrollida; see võib põhjustada ühendite ülekuumenemise lagunemist ja pritsimist; laseraurustusseadmete hind on suhteliselt kõrge.
Range kvaliteedikontroll: täielik testimisseadmed ja -süsteem.
Täielik kategooria: hõlmab kõiki metallelemente.
Erineva kujuga: graanulid, pulbrid, helbed, vardad, plaadid ja rõngad jne.
Erinevad puhtusastmed: 2N7-6N5, 99.7% - 99.9999% puhtus, isegi kõrgem.
Klient saadab RFQ meili teel
- materjal
- Puhtus
- Mõõtmed
- Kogus
- Joonistamine
Vastake 24 tunni jooksul meili teel
- Hind
- Postikulu
- Ettevalmistusaeg
Kinnitage üksikasjad
- Maksetingimused
- Kaubandustingimused
- Pakendi üksikasjad
- Tarne aeg
Kinnitage üks dokumentidest
- Ostutellimus
- Proforma arve
- Ametlik tsitaat
Maksetingimused
- T/T
- paypal
- AliPay
- Krediitkaart
Avalda tootmisplaan
Kinnitage üksikasjad
Faktuurarve
Pakkimisnimekiri
Piltide pakkimine
Kvaliteedisertifikaat
Transpordi viis
Expressiga: DHL, FedEx, TNT, UPS
õhu-
Mere ääres
Kliendid teevad tollivormistuse ja saavad paki kätte
Ootan huviga järgmist koostööd
EN 
AR
BG
HR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
HI
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
LT
SR
SK
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
MS
GA
CY
BE
KA
BN
BS
MN
NE
MY
TG
UZ
LB